無塵室是許多高科技產業（如半導體、光電、生醫）不可或缺的環境設施，而排風系統正是無塵室能否維持潔淨度、壓力穩定與人員安全的關鍵。然而，無塵室排風絕非一般工廠那樣簡單，必須從潔淨控制、壓力平衡、系統備援等多面向嚴謹設計與管理。

以下是無塵室排風系統需特別注意的幾大重點：

1. 潔淨分區氣流不可逆流

無塵室通常會分為 Class 100、1,000、10,000 等不同等級的區域。氣流設計必須確保髒空氣無法逆流至高潔淨區，因此：

• 必須設計定向排氣、單向氣流

• 排氣風管應具備防逆流結構或止回閥

• 維持微正壓以阻止外部污染進入

2. 排風量與進風量需嚴格平衡

排風設計須與送風設計密切搭配，避免：

• 壓力失衡導致潔淨度失控

• 濕度與溫度無法穩定控制

• 風速改變造成紊流與污染沉降

建議使用自動壓差控制系統與可 變風量裝置（VAV） 來維持壓力穩定。

3. 排氣過濾與廢氣處理

無塵室常排出製程化學物質或微粒，必須加裝：

• HEPA 或 ULPA 過濾器處理懸浮微粒

• 化學廢氣處理塔處理酸鹼氣體或有機氣體

• 氣流隔離箱（Plenum Box）設計過濾前緩衝區域

這些設備須定期清潔與校驗，才能持續達到排放標準。

4. 系統可靠性與備援能力

排風系統若突然失效，會造成製程污染與停機損失，建議：

• 採雙機備援（風機、電源、控制系統）

• 設置風速偵測器與故障警報器

• 可遠端監控風量、壓差與運轉狀態

5. 設計與施工需避免污染源

風管材質、連接方式與施工工法，皆會影響潔淨等級：

• 使用不易產生粉塵或腐蝕的材質（如不鏽鋼、鍍鋁鋅鋼板）

• 採用無塵焊接或氣密接合，避免縫隙藏污

• 完工後進行風管內部清洗與測試

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